金融界2025年1月22日音讯，近来，国家知识产权局证明，中微半导体设备（上海）股份有限公司成功获得了触及喷淋头组件及等离子体处理设备的新专利，颁发公告号为CN222313288U。这项专利的请求日期定在2024年4月，充沛显现了中微半导体在推进技能立异和工业使用方面的继续尽力。
依据专利摘要，新的喷淋头组件规划不只连续了职业抢先的理念，还在结构进步行了立异。它包括一个导气板，设有榜首气体通道与多条第二气体通道，二者环绕组织，以便为喷淋板供给高效气流支撑。而喷淋板经过机械衔接与导气板紧密结合，协同作业形成了一个均匀的清洗腔室。
更风趣的是，这项技能赋予了设备对反响腔中心与边际的全面清洗才能，这不只能显着提高清洁功率，也为企业下降维护本钱供给了新的或许性。这一立异无疑将在竞赛十分剧烈的半导体市场上升起一颗闪亮的新星。
材料显现，中微半导体成立于2004年，扎根于上海，注册资本高达61927.9423万人民币。公司在职业界体现活泼，对外出资了27家企业，并屡次参加招投标，展示了其在科技领域的安居乐业。从商标到专利的维护机制，中微半导体的知识产权布局早已到达1425条，显现出其在技能保驾护航方面的仔细情绪。
新专利的落地，不只是中微半导体在清洁技能领域的一次里程碑式打破，更或许引发职业界的新一轮竞赛，推进整个电子制作业向更高效、环保的方向开展。回来搜狐，检查更加多
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